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致研真空镀膜机保养维护:二

致研科技2017-04-04文章动态


继续说说真空镀膜机的保养与维护,还有以下几点需要注意。
 
Ⅰ.使用电阻蒸发和烘烤时必须通冷却水。
 
Ⅱ.蒸发材料应预先除气。
 
Ⅲ.进行离子轰击时,蒸发室的真空度必须在10~1Pa范围内,否则蒸发室的气体电离所产生的电流,使工件烘烤电源有短路的危险,因此离子轰击与工件烘烤不能同时进行。
 
Ⅳ.当电源或机械泵发生故障时,应立即停机,关闭高真空阀。
 
Ⅴ.定期检查机、电各部份工作情况。
 
按照正确的方法进真空镀膜机进行保养维护,就能够很大程度延长实验仪器的使用寿命,保证安全,提供工作效率。


致研科技,致力于科研事业,专业研发设计实验仪器设备,为科研用户提供完整配套解决方案。

文章关键词
真空镀膜机